Verfahren und Vorrichtung

Method for opto-electronic geometry determination involves radiation device through which radiation is irradiated into entrance opening, to recess wall and then falls on sensor device and evaluated by evaluation unit

Abstract

Eine Strahlungsvorrichtung (3) strahlt Strahlung einer geeigneten Wellenlänge mit einer vorgegebenen Intensitätsverteilung und einer vorgegebenen Richtungsverteilung so in eine Eintrittsöffnung (9) einer Ausnehmung (1) in einem Körper (2) ein, dass mindestens ein erster Teil der Strahlung, die in die Eintrittsöffnung (9) eingestrahlt wird, in mindestens einem Teilbereich der Wandung der Ausnehmung (1) reflektiert wird und aus einer Austrittsöffnung (10) der Ausnehmung (1) austritt. Ferner fällt mindestens ein zweiter Teil der Strahlung, die aus der Austrittsöffnung (10) austritt, auf eine Sensorvorrichtung (4), die ausgebildet ist zum Erfassen einer Intensitätsverteilung und/oder einer Richtungsverteilung des zweiten Teils der Strahlung und zum Ermitteln entsprechender Messwerte. Die Messwerte werden mittels einer Auswerteeinheit (5) so ausgewertet, dass mindestens ein Parameter einer Istgeometrie der Ausnehmung (1) ermittelt wird.
Opto-electronic geometry determination involves a radiation device (3) through which radiation is irradiated. The first part of the radiation is irradiated into the entrance opening (9) to the recess wall (1) and withdraws reflection from the recess outlet (10). The second part carries the radiation to the evaluation unit (5) through the sensor device (4) which determines at least one parameter of the actual geometry of the recess. The measured values are determined by the sensor device and are evaluated by the evaluation unit. An independent claim is also included for a device for irradiating the radiation in the above method.

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